Сканирующий зондовый микроскоп Solver NEXT

Назначение: предназначен для получения трехмерного изображения (топографию) поверхности с атомарным разрешением и измерения её локальных характеристик

Основные технические характеристики:

• Режимы работы на воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы / Модуляция Силы / Отображение Адгезионных Сил / Литографии: АСМ (Силовая)
• Режимы работы только на воздухе: СТМ / МСМ / ЭСМ / СЕМ / Метод Зонда Кельвина / Отображение Сопротивления Растекания / Наносклерометрия /Литографии: АСМ (Токовая), СТМ
• Система регистрации отклонений кантилевера: автоюстировка
• Диапазон измерения линейных размеров в плоскости XY: 90 х 90 мкм (с датчиком обратной связи); 3 х 3 мкм (в режиме высокого разрешения)
• Диапазон измерения линейных размеров в плоскости Z: до 10 мкм (с датчиком обратной связи); до 2 мкм (в режиме высокого разрешения)
• Погрешность измерений в плоскости XY: +/- 1%
• Погрешность измерений по оси Z: +/- 5%
• Разрешение в плоскости XY: до 0,3 нм (с датчиком обратной связи)
• Разрешение по оси Z:до 0,04 нм (с датчиком обратной связи), до 0,02 нм (в режиме высокого разрешения)
• Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиком обратной связи: до 0,1 %
• Неортогональность сканера в плоскости XY: до 2°
• Неортогональность сканера по оси Z: до 5°
• Неплоскостность сканирования в плоскости XY: до 200 нм
• Максимальное число точек сканирования в плоскости XY: 4000 х 4000
• Диапазон позиционирования образца в плоскости XY: 5 х 5 мм (шаг 0,3 мкм)
• Разрешающая способность оптической системы видеонаблюдения: до 3 мкм
• Дрейф в плоскости XY: до 2 Ангстрем/с
• Дрейф по оси Z: до 1,5 Ангстрем/с
• Время выхода прибора на рабочий режим: до 5 мин
• Максимальный размер образцов: до 20 мм в диаметре, до 10 мм в высоту
• Масса исследуемых образцов: до 100 г
• Температурный контроль образца: от +25 до +150 °С