Сканирующий конфокальный лазерный микроскоп Olympus LEXT OLS4000

Назначение: метрологическая система бесконтактного определения геометрических параметров, прецизионной топографии поверхности, измерения шероховатости и волнистости поверхности, расчета опорной кривой и др. параметров оценки поверхности образца/излома образца основанном на анализе 2D и 3D сканов рельефа

Основные технические характеристики:

• Увеличение: 108х-17280х
• Оптический источник/детектор: белый LED / CCD-матрица (2 мегапикселя)
• Лазерный источник/детектор: полупроводниковый лазер 450нм / PMT-детектор
• Разрешение по осям X и Y: не менее 120 нм
• Разрешение по оси Z: не менее 10 нм
• Шаг сканирования по оси Z: не менее 5 нм
• Точность: не хуже 0,2+(L-длина сканирования, мкм)/100 мкм
• Объективы/рабочая дистанция: 5х/20мм, 10х/11мм, 20х/1мм, 50х и 100х/0,35мм
• Предметный столик: 100х100 мм моторизированный
• Рабочее расстояние: 100 мм